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影像測量儀對(duì)微小芯片的測量

更新時(shí)間:2021-01-04點(diǎn)擊次數(shù):845

芯片作為核心競爭產(chǎn)品,只有兩三厘米那么小卻密布了上千萬條線路, 每一條走向都整齊有序。傳統(tǒng)的測量技術(shù)很難完成對(duì)芯片尺寸的高精度、高效率檢測。影像測量儀基于圖像處理技術(shù),通過圖像處理快速獲取物體的幾何參數(shù),再通過軟件分析,完成測量。

隨著集成電路的飛速發(fā)展,芯片電線路寬越來越小,復(fù)合式影像測量儀通過顯微光學(xué)系統(tǒng)放大一定的倍數(shù),再由圖像傳感器將顯微圖像傳送到計(jì)算機(jī)中,之后再進(jìn)行圖像的處理和測量。

芯片的檢測核心點(diǎn)除了常規(guī)的尺寸外,以芯片的管腳頂點(diǎn)到焊接盤的豎直間距尺寸為重點(diǎn)檢測目標(biāo),管腳頂點(diǎn)到焊接盤的間距位置若出現(xiàn)偏差,不僅會(huì)導(dǎo)致貼片焊接與引腳底端不合縫,出現(xiàn)漏焊,成品質(zhì)量得不到保證。所以廠商對(duì)于影像測量儀進(jìn)行尺寸檢測要求非常嚴(yán)苛。

 目前市場上對(duì)于管腳頂點(diǎn)到焊接盤的豎直間距尺寸檢測主要依靠高精度影像測量儀來完成。通過影像測量儀的CCD鏡頭抓取芯片的尺寸特征,快速抓取高清晰成像,計(jì)算機(jī)將成像信息轉(zhuǎn)換為尺寸數(shù)據(jù),進(jìn)行誤差分析,測量出準(zhǔn)確的尺寸信息。影像測量儀的工作原理幾乎一樣,但機(jī)器的配置和軟件是有區(qū)分的,一般的影像測量儀廠商價(jià)格賣的特別低,并能夠承諾高精度檢測需求,實(shí)則做不到。

針對(duì)產(chǎn)品的核心尺寸檢測需求,很多大企業(yè)都會(huì)選擇值得信賴的合作伙伴。針對(duì)芯片的核心尺寸檢測,配置CCD鏡頭,通過把工件放置在視場可視位置,程序自動(dòng)驅(qū)動(dòng)抓取引腳的寬度及中心位置的高度,測量速度快,精度高。

 

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